Отображающий прибор для пластин и образцов диаметром до 6 дюймов. Контроллер движения в декардовой или сферической системе координат.
Это встраиваемый инструмент для трансмиссионного анализа пластин. Опорное кольцо пластины использует монтажные зажимы для устранения контакта между пластиной и металлическими поверхностями во время анализа. Используя два прецизионных шаговых двигателя для вращения и перемещения пластины, опорное кольцо пластины может быть повернуто на 360° и переведено в сторону на расстояние более 3 дюймов, чтобы произвести движение в сферической системе координат, охватывающее всю поверхность пластины. Прибор подходит для отображения поверхностей для обеспечения однородности.
• Анализ пропускания полупроводниковых пластин для углерода, кислорода и BPSG.
• Доступные размеры пластин — 6, 5, 4, 3 и 2 дюйма.
• Доступно изготовление индивидуальных держателей.